二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9237904 待售

UNAXIS/BALZERS LLS EVO是为工业、研究和开发环境设计的溅射设备。该系统设计用于可靠、大容量的溅射沉积，具有先进的负载处理和高通量应用的集成过程自动化。该装置能够在生产模式下涂覆大面积基板，以及用于研发的小样品。它可以包含多达16个独立的单独工艺室，以高沉积速率和低热预算实现快速和可重复的工艺。溅射机具有UNAXIS低载荷溅射（LLS）功能,这是一种独特的溅射技术,可在平坦表面和深空腔上提供稳定和均匀的涂层。为了保持较高的沉积速率，LLS技术使沉积区域保持覆盖和不断运动，从而使沉积速率比传统的溅射技术更加均匀和更高。LLS技术还有助于在溅射过程中确保较低的热预算，从而保护细腻的基板。该工具还配备了最先进的集成过程自动化,以实现全过程控制和可重复性。这包括可编程目标跟踪、加载和卸载程序、流程配方和流程历史记录。此外,资产的创新负载处理允许同时加载多达12个机架,以及自动托盘堆迭以进一步简化生产过程。此外，该型号还装有环保设计。所有部件，如泵、排气机、油箱和过滤器，都是为高性能和能效而设计的。设备噪声水平低，工作环境更宜人，是大容量溅射应用的理想选择。总之，UNAXIS LLS EVO溅射系统是一个通用、可靠和高效的溅射涂层单元，为大批量应用提供了一个简化的解决方桉。其先进的自动化、集成的工艺控制和低热预算使其成为大面积基板和精细基板的研发涂层的理想选择。