二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9254147 待售

UNAXIS/BALZERS LLS EVO是一种真空溅射设备，广泛用于研究和生产应用。它是一种健壮、可靠且易于使用的工具，可用于离子束溅射（IBS）或磁控管溅射（MS）等各种溅射过程。UNAXIS LLS EVO是一种多基板溅射工具，提供各种样品处理功能。它配备了两个高真空室和一个通用的阴极设计，允许低占位周期溅射标准和大幅面基板。腔室的工作压力范围为10-6毫巴，可用于贵金属或绝缘体溅射。腔室采用高质量的膜泵，使用户能够降低维护成本。BALZERS LLS EVO是一个独立的系统，包括一个卸载机器人、一个基座、一个过程控制器和一个高精度的直线电动机。机器人提供了基板的快速运动和精确定位，而码头则可以方便地存储多个基板。流程控制器可确保正确设置所有溅射参数,并为用户提供易于使用的图形用户界面。直线电动机确保基板以正确的速度运动，以确保所需的沉积厚度。LLS EVO利用一个均匀的气流单元来确保在整个基板上得到均匀的沉积。该机还具有先进的过程监控技术，使用户能够实时观察沉积过程。此外,该工具还具有针对不同溅射过程的自动配方,以及保存各个设置和配方的功能。UNAXIS/BALZERS LLS EVO因其用途广泛的设计和广泛的工艺而广泛用于研究和生产应用。适用于从小晶片到大矩形和弯曲基板的多种基板。该资产还可用于生产金、铝、钛等各种材料的薄膜、涂层和薄膜。总之，UNAXIS LLS EVO是一个可靠和可靠的溅射模型，可用于各种溅射过程。它提供了广泛的功能，适合各种基材。凭借先进的工艺监控技术和独立的设计，它是研究和生产应用的绝佳选择。