二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9259021 待售

UNAXIS/BALZERS LLS EVO是一种磁控管溅射设备，在半导体工业中常用于各种沉积过程。该系统由溅射室、目标物料源和其他几个组件组成。溅射室本身是一个真空室，设计用来容纳包括晶圆和其他装置在内的一系列基板。这些基板被装载到一个特殊的真空晶圆船平台上，该平台位于腔内。这对于以统一的方式进行沉积过程是必要的。溅射室还容纳磁控管溅射系统。这就是允许目标物料源沉积到基板表面的原因。高压源用于产生与溅射室中存在的气体离子相互作用的电场。这会导致它们轰击目标溅射材料，然后从材料表面推进到基板上。UNAXIS LLS EVO具有先进的特性，如反应性室特性，允许使用气体溷合物溅射和加工某些材料。这种工艺非常适合实现特定的化学计量比和制造技术要求很高的材料。该单元还设有集成激光机器，可以实时测量沉积膜的厚度。该照明工具还用作诊断工具和资产监视器。BALZERS LLS EVO专为高通量使用而设计，每小时最多可处理12个晶圆。它还有一个触摸屏面板，便于操作和参数设置，用户可以根据自己的特定需要量身定制溅射过程。该模型配备了多种功能,旨在增强用户体验,如用户友好的屏幕、高效的过程控制和强大的软件。LLS EVO设备是一种可靠有效的沉积系统，可以帮助满足半导体行业的需求。它可以为用户提供先进而精确的沉积工艺，有助于提高生产吞吐量和产量。该设备的集成功能还允许更大的工艺控制和裁剪,使其成为满足各种沉积需求的绝佳解决方桉。