二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9275953 待售

UNAXIS/BALZERS LLS EVO是一种用于薄膜涂层的溅射设备，专门为Ti或TiN膜的沉积而设计。溅射系统由三轴运动控制和两个溅射源模块组成。溅射单元执行高达200 mm的X轴和Y轴运动,高精度± 0.1 μ m。第三轴（Z轴）的运动是通过电梯机提供的。所有坐标都由一个中央控制器管理，该控制器也支持进程序列。溅射工具具有两组溅射源和六个独立的工艺室。每个溅射源模块都配有两个最新的磁控管溅射源、高精度工艺电源和一个管理溅射过程的控制单元。根据薄膜材料的类型，向溅射室提供高达1kV峰值的额定功率。溅射资产能够处理任何具有可变掺杂工艺参数的材料，以达到最佳薄膜效果。UNAXIS LLS EVO在处理过程中积极监测溅射室中的工艺参数。不同的过程参数如溅射时间、溅射功率或气流可以针对整个模型或个别溅射源进行编程。可以使用集成数据记录设备实时监控溅射过程。这样可以确保在整个制造过程中保持高质量的薄膜沉积工艺。综合气体系统有效地向溅射源提供反应性气体。对气体的流动和压力进行精确调节，以产生所需的沉积过程。燃气单元配备手动、自动流量控制，以及预编程的泄漏检测报警，确保运行稳定可靠。BALZERS LLS EVO溅射机是一种高度先进的溅射工具，能够对薄膜进行精确沉积。其集成的数据记录资产、高精度的工艺电源以及专门设计的运动控制使得在任何材料的沉积中获得最佳效果成为可能。