二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9284249 待售

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ID: 9284249
优质的: 1997
Sputtering system, 6" (5) Targets 1999 vintage.
UNAXIS/BALZERS LLS EVO是一种溅射设备,利用磁控溅射技术将材料沉积到基板上。这种溅射沉积系统利用多个阴极源的专门设计的磁控管和一个旋转的目标轮,创造一个均匀一致的涂层。目标由旋转的车轮固定在适当的位置,溅射用无应变溅射源完成。溅射过程利用直流磁场和施加的偏置电压来产生产生高能离子的电弧。这些离子撞击基板(工件),侵蚀并去除随后沉积在基板上的材料。侵蚀材料不断沉积在基板上,形成均匀均匀的选定材料层。根据设置的参数(如基板偏置电压、直流磁场强度和转子速度),最终结果可以从薄膜或类似氧化物的层状涂层,到用于保护或耐磨应用的厚涂层。UNAXIS LLS EVO提供多种待沉积材料,包括铝、铜、金、银和钛,以及特定应用的定制材料。该单元还可与多种基材搭配使用,包括玻璃、陶瓷、金属和塑料。溅射过程是安全的,因为底物不会达到高温,在沉积过程中或之后不会受到任何环境问题的影响。BALZERS LLS EVO是生产各行业高端涂料的理想机器。溅射沉积工艺的高沉积速率和高精度,使得生产速度更快,解决方桉更具成本效益。由于磁控管的精确控制,该工具产生干净、均匀的涂层,非常适合微电子、半导体、光学等高精度应用。此外,还可以调整资产以覆盖不同形状和大小的表面积,而不必担心宽度变化或空隙,从而确保高一致性和可重复性。因此,LLS EVO溅射系统是为许多不同的应用创建涂层的经济高效且可靠的替代方桉。
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