二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9296436 待售

UNAXIS/BALZERS LLS EVO溅射设备是一种PVD（物理气相沉积）系统，设计用于薄膜沉积在基板上。这个单元利用物理气相沉积，意味着薄膜是由材料的单个颗粒产生的，而不是通过化学气相沉积，一般涉及气态前体的反应。UNAXIS LLS EVO是一种模块化溅射机，使用大功率脉冲磁控管溅射（HIPIMS）技术，以确保材料使用和沉积时间最短。HIPIMS具有比传统磁控管溅射产生更多高能离子的能力，允许更高效的溅射沉积。BALZERS LLS EVO还具有可选的等离子体电源,包括直流电（DC）和高频（HF）电源,以及受控环境室。这有助于确保沉积均匀性,并最大程度地减少与细腻底物的接触损伤。所有这些组件都可以精确控制生产的薄膜的工艺和沉积特性。LLS EVO能够实现多种沉积目标，包括均匀保形涂层、云计氮、摩擦化学转化、高密度涂层、高长宽比封装。该工具还具有高级工艺控制功能，允许优化工艺参数和实时测量薄膜性能。这提供了可重复的过程结果和增加的过程产量。UNAXIS/BALZERS LLS EVO资产非常适合需要高性能薄膜的应用，包括MEMS设备、光学应用、半导体应用和汽车催化转化器。该模型在沉积工艺能力和薄膜沉积质量方面具有独特的优势，适用于广泛的应用要求。