二手 UNAXIS / BALZERS UNI 800 ECO #9285795 待售

UNAXIS/BALZERS UNI 800 ECO溅射设备是一种通用的高性能沉积装置，用于在各种金属、陶瓷和塑料基板上生产薄膜。它由工艺室、射频和直流电源、负载锁、基板支架和控制器组成。该工艺室的内径为305毫米，最多可容纳上述任何基材的八个样品。进入腔室的气体由两个气体入口控制，这两个气体入口允许引入反应性气体进行反应性沉积和溅射清洗。腔室还设有一个装卸系统，自动化，可容纳直径2至8英寸的基板。射频电源允许较高的沉积速率,而直流电源可确保薄膜的均匀性。它在13.56 MHz频率下提供高达800 W的功率。负载锁定是一种动态类型，可确保设备在装卸基板时的连续运行。最多可容纳四种基材。基板支架在溅射过程中提供低温均匀性，每个支架具有高达250公斤的独立支撑。磁场阵列允许在基板支架倾斜时聚焦沉积的粒子。使用基于Windows的软件运行的控制器提供了一个易于使用的直观用户界面。UNAXIS UNI 800 ECO是一台可靠、最先进的机器，适合各种溅射应用。它能够沉积广泛的材料，并提供高质量的均匀性和吞吐量。其先进的特性使其成为大规模生产的理想工具。