二手 UNAXIS Clusterline 200 #9279527 待售

UNAXIS Clusterline 200是最先进的PVD溅射设备,具有卓越的工艺精度和可重复性。Clusterline 200是基于模块化的设计概念，由一个载荷锁定室、一个单或双溅射源和一个处理室组成。这使得系统可以配置各种沉积过程，如直流或脉冲直流/射频磁控管溅射、电子和离子束蒸发以及化学蚀刻。该装置采用高达8 x 10-8毫巴的低维护超高真空，为各种薄膜应用提供了非常精确的工艺条件。该控制器在高级实时GUI上运行,为用户提供多种过程控制选项,并确保以手动或自动模式进行精确的过程控制。该软件还允许用户自行快速高效地排除溅射沉积过程的故障。UNAXIS Clusterline 200是一台自动批量溅射机，具有紧凑的负载锁组合和内置批量运输机。这允许用户同时处理尺寸不超过8英寸的基板,而只需要很小的占地面积。该工具还为多区域或单腔室操作提供了各种其他电平选项。Clusterline 200除了具有精确的过程控制功能外,还具有高分辨率的集成观看摄像头和电源监视器。提供模块化气体系统可以控制各种进气和废气，使薄膜质量具有精确的控制和可重复性。UNAXIS Clusterline 200为用户提供了全面和可靠的PVD资产，该资产配备了先进的溅射源选项、自动批处理能力和多种内置功能。该模型的可靠性和可扩展性使其成为各种溅射沉积行业的首选。