二手 VACUUM INDUSTRIES 1806 #293658124 待售
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VACUUM INDUSTRIES 1806™是一种先进的高性能溅射设备,它通过独特的专有系统技术提供出色的过程控制。1806是一个功能齐全的单元,总溅射覆盖面积为18英寸乘8英寸,标准腔室尺寸为3英尺宽乘6英尺深,可选择增加3英尺宽乘2英尺深。VACUUM INDUSTRIES 1806溅射机使用RF和直流电源的组合以及旋转目标机构,以确保沉积过程的均匀性和控制性。直流电源用于在目标和基板之间形成电弧,以实现均匀溅射。射频电源将沉积速率保持在所需的水平。旋转机构主动调整相对于基板的目标角度,以确保均匀的溅射速率。1806年还采用了高性能VACUUM INDUSTRIES先进的磁级联溅射离子源(MCSIS)。MCSIS用于提供电离粒子的高通量,并提供更平滑、更一致的溅射过程。此外,一个超高真空(UHV)室的底压为10-6 Torr是标准的工具。超高压还能确保极低的污染和优异的底物清洁度。VACUUM INDUSTRIES 1806可通过一系列强健的电压、电流和定时控制接口进行控制,从而实现对过程的精确控制。还可以实时监视资产,以便在操作过程中快速发现任何潜在问题。1806年还包括紧急停车功能、故障跳闸功能等高级安全功能。最后,VACUUM INDUSTRIES 1806是一个强大的材料沉积和表面工程过程平台。VACUUM INDUSTRIES为介电、导体、半导体和磁性沉积材料等多种应用提供了一系列全面的溅射目标。1806型是需要高性能、先进过程控制和可靠性的实验室和行业应用的理想选择。
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