二手 VARIAN 3100 #9165616 待售
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VARIAN 3100溅射设备是一种全自动薄膜沉积系统,常用于薄膜样品的制作和表征。该装置旨在将各种薄膜,包括半导体、金属和聚合物,沉积在任何大小、形状和形态的基板上。该机由高真空沉积室、电动溅射阴极组件、等离子体发生器和高真空闸阀组成。高真空沉积室是一种真空密封的安全壳工具,内部压力为10-4 torr或更低。此功能可确保有害污染物不会进入资产,从而提供卓越的质量和一致的沉积参数。室内有一个电动溅射阴极组件,用于将所需的材料溅射到适当的基板上。溅射枪可以被编程为容易改变沉积参数,如持续时间、功率和方向。溅射枪还装有等离子体发生器,用于在腔内产生辉光放电,进一步协助溅射过程。这有助于确保整个样品的沉积一致,即使在边缘也是如此。3100溅射模型还配备了高真空门阀,在外部环境和高真空室之间提供了安全密封。此功能有助于确保有害污染物不会进入设备,进一步确保一致的结果和卓越的薄膜沉积质量。此外,系统还配备了真空控制模块,可以让用户手动调节腔室压力。这一特性有助于确保沉积过程中的结果一致和沉积参数一致,对于薄膜的精确沉积至关重要。最后,VARIAN 3100溅射装置还配备了数据采集机,用于记录沉积参数。此功能允许用户在整个沉积物上准确监控和记录沉积参数,也允许记录保存和数据可视化。综上所述,3100溅射工具是专门为薄膜样品的制作和表征而设计的全自动沉积资产。它拥有高真空沉积室、电动溅射阴极、等离子体发生器、高真空闸阀、真空控制模型和数据采集设备。所有这些特性有助于确保准确和一致的沉积参数以获得最佳结果。
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