二手 VARIAN 3118 #9081511 待售

VARIAN 3118是为金属或介电膜的高精度沉积而设计的最先进的溅射设备。它是一种功能强大、用途广泛的工具，能够为薄薄的材料层提供高达400nm/min的沉积速率。开发3118是为了在薄层和多层材料的沉积中提供准确、可重复的结果。其先进的设计提供了卓越的溅射均匀性，即使在复杂的结构中也是如此。VARIAN 3118是3100系列的一部分，是该系列中最全功能的车型。它以高可靠性和易于维护而闻名。3118具有高效阴极点位控制系统，允许沉积具有精确目标模式的结构。它还提供了可变磁控管目标阴影特性，允许更好的溅射性能和降低功耗。VARIAN 3118还包括一个独特的蚀刻单元，可用于蚀刻来自基板的沉积膜，以提高均匀性和附着力。这种蚀刻机通过控制正负蚀刻电压元件，便于精确的模式控制。通过强大直观的触摸屏用户界面来控制溅射过程。这个直观的用户友好界面允许对过程参数进行有效控制，如溅射功率、点电压、磁控管位置和目标阴影。3118提供了多种强大的功能,以提供出色的溅射过程结果。其先进的设计提供了卓越的均匀性和可重复性，节省了时间和金钱。VARIAN 3118还为复杂结构提供了较高的分辨率和较高的沉积速率，使其非常适合薄膜沉积应用。