二手 VARIAN 3118 #9358260 待售

VARIAN 3118是一种高精度、高通量的溅射设备，用于将薄金属膜沉积到半导体晶圆等基板上。3118作为VARIAN的旗舰溅射系统之一，以卓越的性能和可靠性提供最先进的技术。该系统由多达18个磁增强二极管溅射源组成，能够用贵金属、半导体和电介质材料涂覆各种基板。VARIAN 3118单元包括双数字温度控制器，用于从室温到500C的精确基板温度控制。一台六位机器人基板搬运机，为多层膜的同时沉积提供了有效的基板转移。3118配备了锁载工具，允许在真空中快速交换基板，快速压力循环和均匀的基板从室温加热到500C。资产还具有开放式设计,便于维护和调整。VARIAN 3118溅射模型还包括一系列计算机控制系统，提供对压力、温度、功率、沉积速率和其他关键参数的精确监控。先进的计算机软件允许实时监测和操作沉积参数，并确保过程结果的鲁棒性和可靠性。3118能够创造广泛的高品质薄膜材料，用于半导体器件制造、微电子加工、薄膜太阳能电池等多种应用。该设备非常适合用于研究实验室和生产设施。