二手 VARIAN 3120 #9070954 待售

VARIAN 3120是为薄膜材料沉积在金属、塑料、玻璃等材料等基材上而设计的溅射设备。它能够精确、均匀地沉积各种薄膜材料，如氧化物、氮化物、碳化物、金属和金属合金。该系统由一个基地单元、一个孤立的真空室以及多个功能齐全且相互连接的子系统组成。3120基本单元包含电源和控制模块。它允许用户选择所需的溅射压力并调整电源级别。此外，基座单元还包括用于温度控制的组件，包括两个水冷热交换器和四个PID控制器。真空室是隔离的，这使得污染最小化，有助于最大限度地提高膜的附着力。它由不锈钢构成，包含几个独立的部件，以确保紧密的真空密封。这些部件包括具有最佳泵送速度的涡轮分子泵、闸阀、VCR套圈、法兰、压力表和针阀。VARIAN 3120具有全自动和可配置的射频匹配网络。这个射频匹配网络使用户能够调整射频供电单元的阻抗，以便在任何溅射压力下建立正确的电极匹配。射频功率通过三个独立的射频源传递给样品。此外，该机还具有阴极电弧源和气体喷射器，可用于反应性气体。3120是出于安全考虑而设计的。它配备了几个独立的安全功能，包括压力和温度监视器，干式涡旋真空泵，以及一系列安全联锁装置。此外，该工具还通过将所有危险气体和源储存在疏散室外而得到进一步保护。总之，VARIAN 3120是一种先进且完全可配置的溅射资产，设计用于薄膜材料在各种基板上的沉积。它配备了一个隔离的真空室，多个独立的安全特性和组件，用于精确的温度和功率控制。RF匹配网络使用户能够调整电源传递模型的阻抗以获得最佳匹配。