二手 VARIAN 3120 #9191951 待售

VARIAN 3120溅射设备在薄膜沉积技术的世界中占有独特的地位。它专为金属、氧化物、氮化物、电介质等各种材料的蚀刻和涂层而设计，以生产具有优异光学、电气、机械性能的薄膜。该溅射系统具有三个独立的腔室：一个双磁源腔室、一个平面溅射腔室和一个基底持有室。双磁控管源腔采用TEM型双磁控管源，可实现平面和角度溅射。平面溅射室具有倾斜的磁源，设计用于优化高纵横比特征的溅射。基板支架室有可调节的支架，可以容纳各种尺寸和形状的基板。3120单元具有独特的负载锁定机，使基板能够快速方便地装载到工具中。载荷锁资产具有高度均匀的压力和温度控制，提高了薄膜涂层的均匀性。使用直观的计算机界面进一步控制整个模型，该界面允许用户设置参数或程序而不会造成太多麻烦。这种溅射设备是各种溅射要求的绝佳选择，包括生产光学薄的透明导电氧化物层和介电屏障层的选择性沉积。VARIAN 3120还配备了先进的电子设备，能够精确控制基板的温度、材料流量和其他参数。它还有一个内置的安全系统，在紧急情况下关闭设备。总体而言，3120溅射机在沉积各种材料的薄膜方面提供了无与伦比的灵活性、便利性和控制性。对于寻找高质量溅射沉积工具的科学家和工程师来说，这是一个可靠而经济的选择。