二手 VARIAN 3125 #127886 待售

製造商
VARIAN
模型
3125
ID: 127886
Auto sputtering system (3) S-Guns (2) DCPS Stainless steel water cooled chamber with two full opening doors Liquid nitrogen trap-valve and VHS-250 DP RF capability & match network but no RFPS Substrate heat IC-6000.
VARIAN 3125溅射设备是一种先进的薄膜沉积系统,旨在沉积薄膜用于高分辨率材料加工应用。该单元由先进的真空室、多个磁控管溅射源和强大的控制机器组成。该腔室提供了广泛的真空压力范围和大小,使薄膜的沉积具有优越的吞吐量,灵活性和控制。该工具的磁控管溅射源结合了高功率射频资产、双极磁铁设计和多个冷却层,以提供卓越的溅射沉积工艺。这项技术的灵活性使客户能够调整关键参数,如溅射率、离子轰击、温度、功率和目标旋转-所有这些都会影响薄膜沉积过程。3125的控制模型针对综合材料和过程控制进行了优化。它的高级自动化功能使用户能够开发、执行和监视薄膜沉积和测量过程。此外,控制设备还可以与外部设备交互,与各种软件平台交互,并捕获来自多个来源的数据。最后,设计了VARIAN 3125室,以最大化表面积,最小化颗粒循环,最小化沉积压力。这有助于确保将高质量的薄膜沉积到各种基材上。该室还配备了一个主动的环境控制系统,可调节温度、湿度、压力和清洁度,从而对工艺环境进行精确和可重复的控制。总体而言,3125溅射装置是高分辨率材料加工应用的强大而可靠的工具.其精密的设计和强大的控制机使用户能够以最高的效率和精度实现精确、可重复的薄膜沉积。
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