二手 VARIAN 3140 #9046098 待售

VARIAN 3140是一种能够提供先进材料沉积性能的溅射设备。它是一种全自动工艺，采用独立、精密的双区真空室。该腔室有助于在各种压力和温度因素下保持较高的真空完整性和较高的均匀性。该系统还配备了石英积液电池，能够将优质材料输送到基板表面。该单元适合通过溅射工艺沉积广泛的材料，包括金属、合金和复合材料。3140机的主要部件是双区真空室、真空工具、电动机械手、气体进料资产、石英积液池和溅射源。模型的核心是两区真空室，它允许双区过程控制和均匀性。高效真空设备基座泵始终保持室内清洁环境。柔性机动机械手可以方便地装载和卸载基板，以及精确定位基板用于溅射过程。强大的气体进料系统和石英积液池使高均匀度的高品位材料在基板上输送。石英积液池有助于减少杂质，并能更好地控制这一过程。高速、高精度的溅射源可实现高吞吐量,具有卓越的均匀性和卓越的工艺控制。VARIAN 3140单元提供高精度和灵活性,以满足最苛刻的生产要求。双区工艺控制在整个压力和温度范围内实现了极好的均匀性，而石英积液池则为以最小杂质沉积高档材料提供了理想的环境。溅射源和燃气进料机实现高通量,工艺性能优异.此外，电动机械手可以快速、方便地装载和卸载基板，以便高效生产。