二手 VARIAN 3180 / 3190 #9009369 待售

VARIAN 3180/3190是一款高效可靠的溅射设备，专为微电子、薄膜等高精度应用而设计。该系统能够对各种表面和材料产生高纯度、低温和高速率的沉积。溅射源易于操作，对沉积过程提供了良好的控制。该装置还具有高温性能，允许晶体生长和选择不同的沉积模式。3180/3190提供了一个直径60厘米的腔室，最多可容纳4个溅射源。腔室的温度范围高达600°C，压力为10-7 torr。室内装有强制空气再循环机，保持均匀的环境以进行精确沉积。该室还包括一个现场过程控制工具，用于监测大气环境，以检测任何过程引起的变化。溅射源的直径为8英寸和6英寸，可与尺寸不超过12英寸的基板配合使用。每一个溅射源都配有一个磁控管源，向目标物质发射氙离子，以便在基板上形成材料的保护层。这些源还设计用于高速率的均匀沉积，以及各种额外的工艺能力。资产还包括流程控制软件,该软件可根据需要创建和修改自定义流程配方。这允许金属、合金和其他材料的精确和可重复的沉积。它还允许通过创建和监视沉积过程来高效使用溅射源。VARIAN 3180/3190是一个可靠、高效的沉积和溅射应用模型。设备强大的溅射源、原位过程控制系统、过程控制软件，使多种材料的沉积精度高、重复性好。该装置能很好地控制沉积过程，非常适合微电子和薄膜等应用。