二手 VARIAN 3180 #293629517 待售
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VARIAN 3180是一种先进的溅射设备，用于工业和研究应用。它提供具有重复性的高速率溅射，并具有独特的双磁控管设计。3180利用集成垂直目标加载,通过消除离线操作来提高吞吐量。另外，其三区涡轮泵配置可以自动切换源，以保持溅射腔内的等压，从而实现最佳沉积。该系统提供的溅射速率是传统溅射方法的两倍，为工业生产提供了超高的沉积速率。它还具有0-12,000C的低温工艺范围，允许在广泛的基质温度范围内沉积易碎材料，以减少与热应力有关的损害。VARIAN 3180是各种基材尺寸的理想选择，从晶圆到8英寸圆盘。它标配负载锁和静电晶片卡盘，可以很容易地与其他组件集成，如光学和射频诊断系统，以扩大其能力。3180通过使用Uni-Gun技术,显着提高了工艺的可重复性,并确保了整个基板的均匀性。这种先进的溅射装置兼具高速率同轴模式和低速率双磁控管模式。高速率模式可实现高附着力和高覆盖率且无固结，而低速率模式可产生高密度涂层。最后，VARIAN 3180配备了现代化的自动化功能，提供实时的过程控制、监控和故障排除。这允许操作员从任何位置远程控制、诊断和优化溅射过程。总体而言，3180是一个优秀的溅射机工业和研究的应用。它提供高速率溅射、低温操作和优越的均匀性，使其成为许多行业的宝贵工具。
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