二手 VARIAN 3180 #293746467 待售
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VARIAN 3180是一种精密的溅射设备，设计用于各种薄膜沉积应用。3180提供各种格式的强大溅射工艺和高性能沉积技术,包括真空弧和反应性溅射系统。其集成的自动化和触摸屏用户界面简化了操作，为各种用户偏好提供了支持。VARIAN 3180旨在满足先进薄膜沉积工艺的需求，提供卓越的溅射效率、优化的目标利用率和非常稳定的性能。3180具有先进的光学耦合、六轴机器人安装电源和水平安装的基于RF磁控管的电子束喷枪,用于高效的基板涂层。还包括用于沉积控制的集成快门阵列，以及用于基板保护的集成断裂检测系统。VARIAN 3180的模块化设计允许在同一单元中使用多达3 × 2个沉积元件的灵活格式,从而使客户能够在地理位置上配置其模具配置。3180旨在支持多种高科技薄膜沉积应用，包括薄膜晶体管（TFT）、太阳能电池和先进半导体器件。它是广泛半导体工艺的理想平台，包括金属化、晶圆碰撞、MEMS、纳米线和器件薄膜沉积。VARIAN 3180支持直径不超过200毫米的基板,并且可以持续以最大功率300W运行。它带有一个集成的真空室,可重复和可靠的机器操作.此外，3180还包括自动化和用户控制的一整套软件功能，包括实时自动化过程监控和报告、可编程作业调度和任务序列控制、配方控制以及功能强大的图形用户界面。软件的设计考虑到了灵活性,因此技术人员可以轻松地将新的和现有的用户首选项设置与现有流程集成在一起。VARIAN 3180还提供对远程控制和安全数据存储的访问。综上所述，3180是一种高性能溅射工具，设计时考虑到灵活性和先进的薄膜沉积应用。集成的自动化和触摸屏用户界面使操作简单高效，而其模块化设计和综合软件包使VARIAN 3180成为各种薄膜沉积工艺的绝佳选择。
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