二手 VARIAN 3180 #293827838 待售

VARIAN 3180溅射设备，由VARIAN制造，是一种多功能的多功能系统，在平面基板上应用均匀的薄涂层。它是许多不同行业的研发的理想选择，例如微电子、储能和显示器，因为它允许广泛的材料被涂覆，包括金属、合金、氧化物和电介质。该单元由一个碱基单元和许多其他组件组成，包括一个离子源、一个脉冲电源、一个气体进给机和一个溅射室。离子源使用RF或DC辉光放电来产生正或负离子束，使溅射的原子种类在特定方向上定向。脉冲电源用于控制脉冲速率和脉冲宽度，有助于优化膜生长速率。气体进料工具用于注入反应性气体，如Argon、O2、Ar-O2或N2溷合物，然后被离子束电离，引起底物额外的离子轰击。这改善了溅射材料的机械和化学附着力，减少了基板上颗粒的污染。溅射室能够达到高真空条件，这对于使涂层材料稳定而均匀地沉积到基板上是必要的。基板支架是电动交换样品，可以很容易地重新定位。资产还提供与光束的温度、方向和图样、溅射沉积速率和射频功率相关的广泛控制参数。还可以监测和控制腔室压力和气体流动。为了在基板上获得所需材料的均匀薄膜，3180溅射模型提供了极好的均匀性和可重复性。它配备了自动溅射枪，提供卓越的薄膜厚度均匀性和运行到运行的可重复性。整个基板的膜厚度均匀度在+/-0.2 μ m以内，整个样品的典型均匀度在+/-0.5 μ m以内。这样可以确保基材最佳地涂上所需的材料。VARIAN 3180溅射设备是一种可靠、易于使用、高效的薄膜沉积系统。它允许用户对产量高、质量一致的基板涂抹均匀涂层。它是市场上最可靠、最灵活的溅射系统之一，非常适合一系列研发应用。