二手 VARIAN 3180 #293828248 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293828248
晶圆大小: 4"
Sputtering systems, 4"
D30A Pump
(8) Cryopump
CTI CRYOGENICS 8200 Compressor
(3) Calogic gun PWR rack
Silicon Carbide (SiC).
VARIAN 3180是一种用于在多种基板上沉积薄膜的溅射设备。其设计可提供卓越的工艺控制、简单的系统集成和卓越的薄膜厚度均匀性。3180单元能够处理许多不同的基板，包括半导体晶片、陶瓷基板和薄膜器件。它配备了两个射频（RF）电源，一个13.56 MHz的溅射源和一个13.56 MHz的基板偏置匹配源。它还以铝、金、铜、铬、镍等广泛的靶材为特色。该机还可用于离子蚀刻，用于各种薄膜沉积应用。VARIAN 3180工具的真空室为不锈钢製造，其排空体积直径可达6-6英寸。它的紧密真空给出的基压小于1x10-7 Torr，最大运行压力为6x10 Torr。它采用三种独立的工艺室配置，可选择在同一腔室中配置多达四个磁控管。3180资产设计了一系列用户友好的软硬件组件，如具有实时用户反馈的流程监控模型、流程配方管理设备以及完全集成的实时流程分析系统。其先进的冷却剂装置可以有效地耗电和快速控制腔室温度。集成冷却剂循环自动调节腔室温度。该机旨在最大限度地减少粘附和粘附问题，并采用集成闭环反馈工具实现自动过程控制。VARIAN 3180资产能够容纳各种薄膜沉积应用的广泛底物，具有优异的工艺控制、易于模型集成和优越的薄膜厚度均匀性。它是任何需要高精度薄膜沉积的应用的理想选择。
还没有评论