二手 VARIAN 3180 #30959 待售

VARIAN 3180溅射设备是一种先进的高性能溅射系统，旨在提供最佳的薄膜沉积能力。该机组使用电子束蒸发源、射频电源、惰性气体和冷冻机。电子束源用于蒸发所需纯度高达功率4kW的金属和介电材料。它具有8 "x 8" x 8"工作区的真空室，直径为7"的光束孔径。该源能够将材料沉积在直径最大为8英寸、间距最大为2英寸的基板上。射频电源可在3180中产生高达1000瓦的溅射功率。射频源在频率和功率水平上是可调的，允许非常精确地控制溅射过程。这样可以缩短材料沉积时间、提高沉积速率和提高吞吐量。VARIAN 3180还包括一个惰性气体工具，能够在工作区提供稳定的大气。这包括在0.1至5 Torr之间的压力下的氮气和氙气。这种资产用于防止沉积物料的氧化，方法是在溅射时保持室内的高纯度气氛。3180还有一个冷冻抽气模型，它捕获放气分子和溅射过程中产生的任何颗粒。这有助于确保沉积具有尽可能高的质量，而不会有任何污染因素影响沉积的准确性。总体而言,VARIAN 3180是一种先进且功能强大的溅射设备。它通过其强大的电子束和射频源范围以及惰性气体和冷冻泵送系统提供了最佳的薄膜沉积能力。该系统能够以较高的吞吐量生产优质矿床，是各种薄膜应用的理想选择。