二手 VARIAN 3180 #83199 待售

VARIAN 3180是一种理想的溅射设备，广泛用于研究和工业应用。它是一个双源并联的团簇溅射系统，允许高速蒸发，腔室大，与晶圆的距离最小。该单元包括两个独立的物理气相沉积源-一个可以倾斜的垂直源和一个唯一能够垂直定位的水平源。这种创新的布置确保了溅射的最佳速度和均匀性，并允许机器进行精确调整，以实现卓越的控制和可靠性。3180溅射工具的输出极为稳定，额定溅射速率高达5-6 nm/min。该资产还能够溅射任何所需材料，使其适合各种应用。具有沉积从金属到陶瓷、电阻膜和介电膜的广谱范围材料的能力。模型本身是为方便地访问主要组件而设计的。它在腔室上有一个全长的侧门，便于进入、监控和仪器清洗。该室还设有两个独立的溅射源；两个进给口、两个快门气动端口和一个具有超低真空能力的动态内部快门设备。针对最小的湍流和最佳的沉积均匀性，对腔室设计进行了高度优化。该系统包括自动化过程控制、计算机模拟和数据采集，使其能够方便地为所需的过程编程。外部控制计算机允许无人值守操作和数据传输。它设计用于广泛的环境条件，包括温度范围从+10°C到+40°C，相对湿度从0%到50%。VARIAN 3180是那些需要可靠、高性能溅射装置的人的绝佳选择。该机的性能非常适合薄膜、耐介电耐磨研究、微电子器件等多项研究和工业应用。