二手 VARIAN 3180 #9004072 待售

VARIAN 3180是为现代薄膜沉积应用而设计的高速率直流溅射设备。它主要用于半导体、数据存储、光学和工业涂料等行业。该系统采用3.4 cm3、24升真空室，非常适合涂覆小平面基板或大圆形基板，同时保持较高的加工速率。它的磁控管溅射源包括三个六硼化超LaB6和五个钨标，功率密度高达1000 W/cm2。3180还具有一个电源模块,能够在0-1000伏范围内产生各种直流（DC）偏置电压。这允许精确调制沉积速率、能量和物理特性等材料沉积质量。作为额外的奖励，电源提供了可移动的Fibremate目标释放单元，用于低压供电。该机还具有基板温度控制选项。这是通过在沉积过程中在腔室内引入气流辅助均匀加热来实现的；允许均匀的低温沉积。最高温度范围可从20˚C调整为400˚C。VARIAN 3180提供两个可控的气体管线入口,可控制沉积参数,如停留时间、流量和气体化学。此选项使得该工具在各种薄膜沉积应用中具有令人难以置信的多功能性。最后,3180在其触摸屏显示屏上拥有先进的图形用户界面（GUI）。此GUI提供了一个用户友好的界面,可实时监控资产性能和性能指标。GUI旨在简化薄膜沉积过程,从而更易于确定最佳工艺参数。总体而言,VARIAN 3180溅射模型提供了多种功能和选项,旨在简化薄膜沉积过程。该设备具有precisrDC偏置电压能力、50W/cm2功率密度、可编程基板温度控制以及可靠的用户界面，是小型和大型薄膜沉积应用的理想选择。