二手 VARIAN 3180 #9033671 待售

VARIAN 3180
製造商
VARIAN
模型
3180
ID: 9033671
晶圆大小: 4"
Sputtering system, 4".
VARIAN 3180溅射设备是一种超高真空等离子体应用机器,用于将金属薄膜沉积在不同表面上。它是一台最先进的机器,能够比当今市场上的其他溅射系统更快、更可靠、更一致地存放薄膜。这种超高真空溅射系统利用电场,利用磁控管溅射技术,在各种材料上沉积了超细、高质量的金属膜。该装置利用两个射频电源为三个平面磁控管溅射源供电,以沉积薄膜。3180还可以容纳最多两个二极管源,用于沉积额外的材料或多层。源磁铁组件允许在真空室内扩展磁场,以便更好地控制溅射过程。VARIAN 3180有一个三英寸乘三英寸的基座,位于真空室后面的中央开放式平台上。这种基板支架允许各种尺寸和形状的样品被放置和牢固地保持沉积。它还支持高温基板的使用,可以定制以适合任何基板的尺寸和形状。此外,3180还配有一个底物旋转机,以实现薄膜的最佳沉积。VARIAN 3180拥有多室离子计,使得薄膜能够在最紧的真空水平下沉积。其低压、主动冷却的涡轮分子泵使真空水平达到低于5 x 10-9 torr的基本压力。3180的自动化控制工具支持过程监控,并允许根据需要对不同的过程周期进行编程。总体而言,VARIAN 3180是一种先进、可靠的溅射资产,可帮助在各种基板上创建高质量的超薄金属薄膜。其先进的真空模型和自动化控制器使得它成为那些寻求更快、更可靠的溅射效果的人的理想选择。
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