二手 VARIAN 3180 #9077094 待售
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ID: 9077094
晶圆大小: 4"
优质的: 1987
Sputtering system, 4"
With S/E
(3) Guns
Datatrak controller
(3) 12 Kw DC P/Ss
CT-8 Cryo pump
RFPP RF-10S
1987 vintage.
VARIAN 3180是为超高纯度和可重复结果而设计的高性能溅射设备。它是一个小巧、可靠、坚固的系统,提供出色的过程控制和正常运行时间。该单元由三个独立的源、一个三目标、中频动力溅射室、一个独立的双目标、低频动力溅射室以及一个控制和电源单元组成。这种独立的双目标溅射机具有最佳的工艺控制和良好的均匀性。低频功率和控制单元提供了实现一致沉积所需参数的精确控制。三目标构型允许多层金属和球茎沉积,具有非凡的均匀性,而独立的溅射室在应用特定特性方面提供了灵活性。3180的电源是中频交流电源,提供比典型低频直流电源更高的功率和均匀性。三目标配置提供了对目标功率的最大控制,允许精确调整每个目标的薄膜属性,从而实现可重复性和过程控制。腔室本身提供了一种独特的陶瓷壁衬技术,可确保整个表面均匀沉积,从而实现极好的均匀性。设计还消除了来自粒子的干扰,导致更高的均匀性。控制和电源装置可实现行业标准、用户友好的过程控制,确保了一致、均匀的薄膜沉积和可重复性。该单元还具有全面的安全功能和一套全面的诊断和过程监控功能。VARIAN 3180是一种高度可靠、用途广泛的工具,可提供最高程度的过程控制和正常运行时间。它是一种可靠、可重复、可靠的溅射沉积资产,具有良好的工艺控制和简洁性。它是薄膜沉积的理想选择,是小型和大型生产应用的绝佳选择。
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