二手 VARIAN 3180 #9106890 待售

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VARIAN 3180
已售出
製造商
VARIAN
模型
3180
ID: 9106890
Sputtering system Currently installed in cleanroom.
VARIAN 3180是一种最先进的薄膜沉积设备,用于将各种涂层溅射到基板上。系统包括两个阴极,两个基板位置,两个载荷和卸载位置,各独立控制。闭环、计算机控制的溅射装置提供可重复、一致的结果。3180利用平面磁控管溅射技术进行高产均匀沉积。这一先进技术支持金属和介电材料的大面积沉积。真空压力可维持在2x10-4至10-7 torr之间,而工艺温度范围从室温到350 °C。这台机器有一个光学观察窗口和一个基于PC的、用户友好的图形界面,便于操作。利用自动磁铁功率调节和冗余腔室压力控制,提供准确、均匀的沉积速率。绕行基板运动可确保在圆形基板上均匀涂层。VARIAN 3180包含一种超低溅射模式,用于沉积薄至1Å的薄膜。3180可用于薄膜沉积、光学涂层、高级耐磨层、介电和导电层以及屏障层等多种应用。适用于石英、金属、玻璃和塑料等多种基材。溅射工具能够产生光滑、均匀的金属氧化物、硅酸盐和氟化物涂层以及其他材料。VARIAN 3180完全设计、设计和组装,以满足业界的安全和质量要求。它由知识渊博的客户服务团队组成的广泛网络作为后盾。VARIAN高级软件解决方桉使用户能够监控资产性能以实现最高的生产效率。公司提供的所有系统都提供12个月的保修,并支持产品的使用寿命。
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