二手 VARIAN 3180 #9131926 待售

VARIAN 3180溅射设备是金属、合金、绝缘薄膜沉积的通用工具。利用电容耦合磁控管溅射技术，实现了三个磁控管的独立过程控制，实现了均匀离散的薄膜生长。其3轴机器人自动化允许从基板尺寸到8英寸的完全样品访问。3180系统可以手动控制,也可以使用计算机存储各种材料。该单元为射频电源和溅射枪组件提供双室设计。它利用高达3.0 kW的射频能量，可以沉积非常厚的薄膜。VARIAN 3180也有无限的溷合物选择和独立的溅射速率来製造多层结构。先进的工艺控制技术包括一种用于反应性溅射的气体溷合机。其高度精确的压力控制进一步确保了均匀、快速的介质输送。3180具有散装沉积能力和图桉化沉积能力。它允许通过数字可编程附件对光圈进行微调控制。它有一个综合的预清洗设施，为沉积提供更好的试样表面条件。真空互锁工具可进行压力调节和真空感测。VARIAN 3180在紧急情况下还有一个车载断电资产。3180有许多优点，如优秀的胶片均匀性、内置胶片除水增强的出色步长覆盖以及流畅的胶片轮廓。它坚固的结构确保了多年的耐用性能,其精确的控制使您能够沉积非常耐用的薄膜层。操作模型方便用户，对设备状态和薄膜沉积过程提供准确反馈。它还具有通用的数据记录功能,允许用户监视溅射过程的进度。总之，VARIAN 3180溅射系统是薄膜沉积的有力工具，具有先进的工艺控制技术和多用途的设计。它具有出色的薄膜均匀性、耐用性和人性化界面，对纳米技术行业等相关领域的用户具有吸引力。