二手 VARIAN 3180 #9198797 待售

VARIAN 3180是一种高性能溅射设备，专门设计用于中大规模的研发工作以及商业应用。该系统包括离子源、真空泵、控制器、电源和带有机械臂的基板支架。该单元的离子源被设计成在腔室中产生高真空，同时也产生大量的氮离子。离子源还能够产生正离子和/或负离子。真空泵用于维持腔室内的压力，降低基板支架上的压力。控制器用于控制机器的压力、电流和其他参数。3180还设有高压电源，可提供高达8千瓦的射频功率和高达400-600瓦的直流功率。电源用于在腔室中产生电场，方便溅射过程。基板支架是一个可旋转的手臂，最多可容纳四个基板，并且可以移动它们以进行基板到基板的溅射。机械臂也可以被编程为将基板移动到室内不同位置，以进行不同的溅射技术。总体而言，VARIAN 3180是一个可靠和高效的工具，用于中大规模的研发工作以及商业应用。该资产提供各种溅射技术，能够处理各种基材和材料。其高功率电源保证了一致可靠的效果，控制器使溅射过程简单明了。