二手 VARIAN 3180 #9237469 待售

VARIAN 3180是为半导体分析、微电子制造、金属沉积等工业和研究应用而设计的板式溅射设备。该系统由一个真空室、一个电源、一个控制单元和几个溅射源组成。腔室采用不锈钢制成，呈圆柱形，底座直径约1090mm，高度1820mm。它的顶部有一个法兰,可以将溅射源和其他组件连接到该法兰。该室还配备了一系列视口，允许在机组运行时进行直接观测。电源是一种高压高频发电机，能够产生高达24.6千瓦的溅射功率。它通过DC-DC转换器连接到腔室，进一步调节功率输入，确保稳定运行。此外,还有几个安全功能,确保机器不会过载,并保持保护状态。溅射源是一系列小目标，由多种材料构成，对其施加放电。这种放电导致物理溅射，这个过程负责颗粒沉积到被处理的基板上。控制单元是一台数字计算机，用特定指令编程，以控制其他组件的操作。它能够设置电压、电流、溅射时间和其他影响过程的参数，并且可以编程为以后运行重复这些参数。它还连接到远程计算机以监视和远程控制工具。总体而言，3180是可靠有效的溅射资产。该型号具有坚固的腔室、强大的电源和精密的数字控制单元,是工业和研究应用的绝佳选择。可用的溅射源种类繁多，几乎可以将任何材料沉积到基板上，从而能够有很大的灵活性来适应不同的需求。