二手 VARIAN 3180 #9238713 待售

VARIAN 3180是一种多功能的直流溅射设备，设计用于多种材料的沉积和蚀刻。利用永磁溅射技术制造出均匀性增强、粘附强度增强的薄膜。这项技术还使复杂的多层堆栈的沉积具有精确的分子分层控制。3180是完全自动化的过程可重复性和更大的吞吐量，它配备了两个磁控管和两个目标组件，每个目标组件独立或组合放大器，用于热溅射的管腔，可选的储藏室和智能诊断系统。VARIAN 3180有能力沉积多种材料，包括但不限于介电、金属、半导体、铁磁和绝缘材料。它可以执行光学和电气材料的沉积、保护膜、化学蚀刻、用于设计修改的蚀刻等多种应用，等等。恒定的电源、对每个阴极功率的可调整性以及目标温度控制使这一单元能够优化优质薄膜的沉积。3180由一个直径6英寸的腔室组成，该腔室有三个腔室壁，每个腔壁都有多缝准直仪。顶壁使材料沉积在基板上，底壁帮助疏散腔室，中间壁帮助目标垂直对齐。腔室装有独立的氦气净化和双击，用于还原过程中的氧浓度。沉积过程中压力从0.001毫巴持续变化到1.3毫巴的能力有助于精确调整工艺参数，优化沉积速率、薄膜厚度和基板均匀性。还提供了多种工艺控制技术，包括可变功率、目标温度控制和基板旋转，以提高胶片性能。集成的基于PC的控制器提供了广泛的配方存储、过程监控、实时诊断控制和数据记录功能。此外，计算机控制的基板定位机确保精确的基板位置。VARIAN 3180具有用于薄膜厚度测量的4圈石英晶体监测仪，以及用于沉积过程实时监测的原位和异位反射率测量工具。该资产还配备了一个超声波浴池，用于在涂层之前清洗样品零件，以及一个石英电池，用于电导率测量。总体而言,3180提供了单一模型中最高效的沉积、蚀刻和离子铣削功能,使其适合广泛的应用。其特点使高质量、高通量均匀性薄膜的沉积得到控制.