二手 VARIAN 3180 #9242140 待售

VARIAN 3180设备是一种用于薄膜沉积过程的溅射沉积工具。它配备了获得专利的Hybrid Magnetron Head （HMH），具有优异的等离子体均匀性，非常适合工业规模生产。HMH结合了静态和动态磁控管配置，具有精确控制的磁场。这样可以实现满足生产标准所需的最佳功率稳定性和均匀性。该系统还拥有一个多目标外壳，具有独立的气体导引控制、高功率供应和炮塔旋转溅射源。它还为用户提供了数字化过程参数调整控制，使得设置溅射过程快速、容易。3180非常适合物理气相沉积（PVD），可以产生多种不同的薄膜应用。比如，投资者可以利用溅射沉积工艺，将铝、钛、铜、金、银等一系列金属应用于耐磨、EMI屏蔽、电键等多种应用。由于其双源配置,它还能够提供高吞吐量。此外,该工具还提供高级流程控制功能。这包括一个实时监控和数据收集单元，允许用户分析进程的运行方式并对其进行实时优化。VARIAN 3180旨在提供具有可重复性能的高品质薄膜。通过使用压力、功率、胶片属性、均匀性等过程控制指标以及通过自动触摸屏界面可调节的其他过程参数来确保这一点。对于需要高吞吐量且具有最佳性能的工业应用,此溅射机是理想的解决方桉。其多目标配置和高效电源提供了可重复和可靠的工艺结果,使其成为研究和生产环境中的绝佳选择。