二手 VARIAN 3180 #9269837 待售

VARIAN 3180是一种紧凑高效的溅射沉积设备，旨在满足实验室、研究和生产设施的要求。优化了工艺均匀性和沉积率，为各种材料提供了精确控制。它能够创建多种模式,包括多层薄膜、均匀涂层、复杂形状和特殊纹理。该系统配有各种腔室配置，以适应各种应用。它的最佳尺寸-足够小,可以节省空间,但又足够大,可以适应复杂的任务-将精度、吞吐量和过程控制完美结合起来。它还具有一个真空单元，一个温度控制的基板支架，和一个良好的绝缘微波等离子体源。该机的独特之处在于它能够在同一基板上同时形成多层沉积和溅射的复杂结构。该工具由两个截然不同的部分组成-工艺室和电源。加工室的设计符合与全尺寸资产相同的要求。优化了内部特性,以实现卓越的工艺均匀性和吞吐量。采用耐用材料制成，耐腐蚀和热冲击。电源效率极高,谐波失真低.它包含三个独立调节的供应：直流偏置、反应性偏置和离子能。这些组件使模型能够持续提供所需的输出功率,即使在高温和溅射速率下也是如此。3180是一种用途极为广泛的先进薄膜沉积溅射设备。其工作效率、易用性和优越的空间均匀性使其成为大规模和小规模生产应用的理想选择。