二手 VARIAN 3180 #9278289 待售

VARIAN 3180是为薄膜沉积而设计的最先进的溅射设备。它为一系列溅射应用程序提供出色的性能和控制。3180采用三轴运动控制系统和集成的6站可旋转基板支架,可确保精确的薄膜沉积速率和均匀性。该单元有一个大的3英寸（76毫米）溅射枪，由一个烟罩保护免受烟雾和颗粒的伤害。最多可以将四把溅射枪连接到机器上，允许单目标和双目标沉积以提高吞吐量。VARIAN 3180配备了Vacuum 10.1接口，用于同时监测和控制沉积过程。该控制器允许用户监视和控制沉积速率、流量、压力和温度。该工具包括实时温度和频率控制均匀沉积。它还支持多达七种工艺气体，包括氙气、氧气、氮气、氢气和卤素。资产可以达到低至1 x 10-4 Torr的压力，任何商业溅射模型都可以达到的最高。这使得它适用于薄膜光伏、微电子等超高真空溅射应用。该设备几乎与任何基材兼容，可容纳直径不超过8英寸（200毫米）的基材。该系统采用石墨丝装置，即使在工作温度较高的情况下也能提供极好的均匀性和较低的侵蚀率。石墨丝机还减少了电子到达基质的量，使其成为高温过程的理想选择。最后,3180提供了出色的安全功能,并提供易于访问的维护和维修设计。它还配备了横向运动安全功能，防止在工具运行时溅射枪的任何不需要的运动。总之，VARIAN 3180是一种功能强大且可靠的溅射资产，非常适合广泛的应用。具有真空10.1控制器、实时温度和频率控制以及石墨灯丝模型等特点,具有优异的性能、精度和控制性能。