二手 VARIAN 3190 #50850 待售
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ID: 50850
晶圆大小: 5"
Sputtering system, 5"
(3) DC power supplies: Conmag, 12kW
Controller: Fluke 1722A
Ver: 3.1, CTI-TORR 8, installed.
VARIAN 3190溅射设备是一种多功能、高性能的溅射工具,设计用于将材料薄膜沉积到各种基板上。其最先进的系统采用磁控管溅射技术,允许用户以高质量和可重复性存放薄膜。3190具有独特的光源设计,沉积速率高,具有出色的均匀性、更好的步长覆盖、更大的工艺灵活性和广泛的膜参数。它还通过先进的工艺控制达到了最高的溅射速率和其他均匀溅射性能。VARIAN 3190是一种强大的多目标溅射系统,可用于包括透明和二进制薄膜在内的多种材料,以及有机薄膜、电介质和导电层。它支持广泛的应用,包括存储介质、平板显示器、数据存储、光学组件等。设备有三种不同的配置,具体取决于每个用户的需求。它可以在1 x 2的布置中容纳最多三个目标,并且包括最大功率为2700瓦的RF/DC电源。机器还提供了广泛的工艺参数和参数。3190还提供了一些自动化选项,以提高效率。这包括用于轻松处理样品的旋转手推车、用于更大的工艺控制和样品测量的自动关闭,以及用于精确控制薄膜特性的厚度映射功能。总体而言,VARIAN 3190是一款可靠且用途广泛的溅射工具,配备了最新技术,非常适合广泛的应用。
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