二手 VARIAN 3190 #9002890 待售

VARIAN 3190
製造商
VARIAN
模型
3190
ID: 9002890
晶圆大小: 5"
Sputtering systems, 5".
VARIAN 3190是一种溅射涂层设备,用于物理气相沉积(PVD)和表面清洁。这种先进的设备具有自动溅射源、阳极和目标成形电极系统以及高真空室。3190专为高效、一致的溅射而设计,非常适合半导体制造和其他工业应用。VARIAN 3190能够溅射各种材料,包括金属、硅和其他非金属化合物。它还具有用于精确涂层控制的大型目标成型电极单元。它还能够高精度地溅射,具有非常均匀的粒径,确保最高质量的涂层。该机器还能够处理直径不超过1英寸、高度不超过4英寸的样品。性能方面,3190具有广泛的蒸发范围,从超低功率到超高功率。它是高真空室,泵送速度高达5E-4 Torr。该腔室还采用了专利节流设计,确保了涂层过程中的可重复性和最小的颗粒碎片。此外,该工具的运输资产具有快速的材料汇率,允许及时进行样品处理和吞吐量。VARIAN 3190也有先进的控制型号。这允许用户在周期中精确监视溅射和其他参数。它还允许操作员对处理参数进行快速和可预测的调整,以满足特定的要求。最后3190易于使用和维护。它设计用于最小程度的用户干预,具有自动启动和关闭序列。维修所需经费极少,因为设备包括自动清洁功能,便于定期清洁和维修。总体而言,VARIAN 3190是一种可靠、先进的溅射涂层系统,适用于精密涂层应用。其自动化特性、可调蒸发范围和可靠的控制单元使其成为寻求高效、一致的PVD处理结果者的理想选择。
还没有评论