二手 VARIAN 3190 #9056309 待售

VARIAN 3190设备是一种先进的超高真空溅射系统，设计用于将薄膜高精度沉积到多种基板上，用于电子、医疗、光学等多种应用。这种溅射装置利用了许多组件，包括离子源、电源、高真空室、旋转进给通路和仪表盘。3190的离子源是射频（RF）等离子体发生器。它能够在广泛的底物温度范围内产生高度电离的等离子体，这有助于确保膜的均匀沉积。射频等离子体发生器还具有可根据需要调节等离子体强度和均匀性的自动功率控制。机器的电源提供精确的电源控制和电压调节,以获得一致的结果.它允许用户为每种使用的基板设置精确的功率电平和电压。此外,它还具有电弧感应和点火保护功能,以防止损坏刀具的组件。高真空室是为沉积过程提供密密麻麻环境而设计的不锈钢室。它配有两个密封腔室两半的高精度垫圈，保证了薄膜沉积的真空环境。其温度范围为-67 °F至662 °F，提供了广泛的应用。旋转进给通路提供了一种在不打开真空的情况下将基板引入腔室的方法。这样可以减少对腔室的污染,并有助于确保膜的均匀沉积.进料通路内置在腔室底部，便于进入。仪表盘位于腔室侧面，为用户提供工艺参数的读数和控制。它还包括一个真空计来监测室内的压力。总体而言,VARIAN 3190是一种强大的高精度溅射资产,旨在生产精确、均匀的薄膜涂层。它具有广泛的功率和温度设置，以及集成的旋转进给和仪表板。这使得它成为各种应用程序的理想选择。