二手 VARIAN 3190 #9105395 待售
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ID: 9105395
晶圆大小: 4"
Sputtering system, 4"
Standard system
Includes:
RF Etch
RF10S power supply.
VARIAN 3190是为各种溅射过程而设计的溅射设备。它由包含腔室、真空单元和沉积源的大型机系统以及4轴负载锁定控制面板、定位器和电源组成。3190室和真空机为基于溅射的分析提供了最佳环境。它使用涡轮泵和7孔旋转泵，真空水平降至2x10-4 Torr。为了达到理想的真空，使用真空线和阀门将腔室与泵隔离。沉积源是一个行星沉积源，它可以同时将物质沉积到几个基质上。它通过创建一个旋转场而起作用，该旋转场导致近单层溅射到基板上。当一种气体和一种稀有物质的组合用于溅射沉积时，就会发生这种情况。VARIAN 3190的4轴载荷锁定控制面板使得在腔室内装载、卸载、移动和放置多个基板成为可能。它利用安装在三个轴上的独立线性执行器来工作，以保持对每个基板位置的精确控制。该工具还包括一个定位器和电源，为沉积过程提供额外的控制和稳定性。定位器使资产能够获得更大范围的角度,并能够将基板定位到完成作业所需的确切位置。最后,电源提供高达1000瓦的各种功率级别。总而言之，3190是一个强大的溅射模型，它为各种应用提供了卓越的精度和控制水平。凭借其先进的工具和功能,它非常适合各种过程,并且能够提供高质量的溅射效果。
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