二手 VARIAN 3190 #9237465 待售

製造商
VARIAN
模型
3190
ID: 9237465
晶圆大小: 5"
Sputtering system, 5" Power cabinet: (3) Gun controls Control cabinet Cryo pump Does not include compressor.
VARIAN 3190溅射系统是用于薄膜沉积应用的一种强大而可靠的设备。它旨在将材料薄膜沉积在受控大气中的基板上。在溅射中,物质通过等离子体引起的粒子轰击从目标源转移到基质上。3190使曲面的修改具有高精度、重复性和多功能性。该系统提供了一个可调的光束能级,允许用户调整溅射速率,从而产生各种各样的薄膜特性。它还利用多表配置最大限度地减少目标和基板之间的粒子碰撞。它的高级可编程控制器面板允许用户设置和控制目标大小、形状和目标到基板的距离等多个变量。VARIAN 3190还通过其多目标磁屏蔽(MTMS)功能提供了高水平的基板均匀性。MTMS可防止杂散颗粒从溅射过程中轰击基板,从而消除沉积膜的针孔。它还确保在溅射过程中颗粒的目标到基体的距离和轨迹一致。在安全方面,3190配备了保护罩,每当操作员开始沉积过程时都会阻挡直接视线。它还配备了一个排气系统,减少噪音排放,并保持一个无危险的工作区。VARIAN 3190是一种强大可靠的溅射工具,可用于各种沉积过程。它提供了广泛的可调光束参数、可编程控制器面板和MTMS技术,为用户提供了先进的薄膜沉积应用所需的精度。它还提供了安全舒适的工作环境所必需的高级安全功能。
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