二手 VARIAN 3190 #9277529 待售
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VARIAN 3190是一种多功能溅射设备,可用于一系列薄膜的沉积。该系统由溅射室、真空泵、冷却系统和相关部件组成。它的设计是高度可配置的,这意味着其组件可以根据应用程序的特定需求进行单独定制。溅射室由一个挤压铝框架和一个不锈钢室组成,该框架提高了刚度和热性能。在腔室内部,顶部装有陶瓷电子束枪,用于材料的精确溅射。它配备了一个电磁体,可以处理各种各样的目标材料。它还包括两个计算机监测点和排气系统,以便对加工气体进行有效的监测和疏散。加工气体通过专用的闭环储层处理。这样可以确保材料在进入工艺周期时保持清洁和纯净。高流量和高压机械泵确保气体稳定、受控地流入真空室。还有一个与Turbomolecular泵相连的冷却单元,可用于将工艺室维持在预设温度。3190机还包括一系列安全特性。它配备了臭氧和挥发性有机污染物传感器以及压力监测系统,有助于确保该地区人员的安全。此外,其软件界面还具有实时数据监测和警报等多种功能,有助于确保正在执行的进程的安全和效率。再者,它可以很容易地与其他系统连接,包括各种CAD软件包,使用户可以很容易地设计甚至模拟他们的沉积。总体而言,VARIAN 3190是一种高效高效的溅射工具。其多种配置设计、一系列安全功能和连接选项使其成为一系列薄膜沉积任务的绝佳选择。其可靠的性能和耐用性确保它是任何工业或研究应用的完美解决方桉。
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