二手 VARIAN 3190 #9277865 待售

VARIAN 3190是为先进薄膜沉积而设计的移动式溅射设备。它具有6站工艺室配置，并配备了最先进的电子和组件，提供可靠和可重复的结果。该工艺室最多可容纳六个溅射室，对每个工艺室提供独立控制，允许复杂的层构造和方便的配方转移。该腔室是真空兼容的，具有5分钟以下的快速泵降时间。利用内置的涡轮分子RGA，它能够将腔室压力控制到10-6 Torr下的极限压力。腔室可配置平面、直线或柱式目标,最高可达到14 "x 8",并可提供高达5000瓦的功率。3190配备先进的工艺控制系统，可用于监测溅射速率、源电流、基板温度、沉积速率等工艺参数。过程控制单元允许优化处理参数，以获得最佳结果。机器是一个高度自动化的过程,配方存储到内部PC中。这样就可以快速设置和传输配方,以及简化流程跟踪和流程优化。此外，VARIAN 3190能够沉积广泛的材料，包括金属、氧化物和氮化物，并支持广泛的沉积技术，从直流电（DC）到高频（HF）溅射、电子回旋共振（ECR）溅射，以及紧密耦合的磁控管溅射。3190为实验室和工业溅射应用提供了极好的选择,提供了可靠、可重复的工艺,具有可变涂层和出色的低k处理能力。VARIAN 3190具有强大的设计、多用途的工艺能力和先进的工艺控制,是现有最好的溅射系统之一。