二手 VARIAN 3190 #9278288 待售

VARIAN 3190是为单目标或多目标应用而设计的中型多目标磁控管溅射设备。3190是一个高度自动化和可靠的溅射平台，配备了一系列创新功能，以提高运营效率。基本的VARIAN 3190系统由一个射频电源、一个直流电源、一个高真空单元以及一个或多目标溅射室组成。射频电源以13.56MHz的频率产生交流电源,最大输出功率高达10kW。直流电源最多可为1.5kW供电,最大工作电压为-50/-120V。高真空机配备了高真空泵、全方位检测器、高流量真空工具。3190的溅射室配备了大功率射频（RF）屏蔽，由球形真空室、内部磁铁和场线组成，保证从射频电源到溅射目标的最佳能量传递。目标本身被安装在一个特殊的后备目标支撑上，这样可以防止它们在溅射过程中移动。支持目标支持还提供了更改目标的简便方法。VARIAN 3190提供了一系列功能,使其成为研发和生产应用的理想资产。射频电源提供可编程脉宽调制（PWM），用于精确控制溅射沉积速率。直流电源允许对溅射材料进行定向控制,从而提供更大的灵活性。高频射频源也产生小至35纳米的特徵尺寸。3190的溅射室还提供了一些附加功能。其中包括精确控制目标温度的能力，以及精确控制腔室内气压的能力。VARIAN 3190还提供一系列安全功能,包括压力互锁和低流量关闭,以提高安全性和可靠性。3190溅射模型为溅射沉积应用提供了灵活性和准确性。它具有可靠、高性能的设备设计,可轻松集成到一系列研究、开发和生产应用中。VARIAN 3190是一个可靠且成本效益高的溅射系统，可以在一系列科学和工业环境中使用。