二手 VARIAN 3280 #31504 待售

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VARIAN 3280
已售出
製造商
VARIAN
模型
3280
ID: 31504
晶圆大小: 6"
Sputtering system, 5", as is.
VARIAN 3280是一种强大的溅射设备,设计用于在大基板区域上溅射薄膜。它为光学、电子和磁性材料研究的应用提供了灵活、经济高效的解决方桉。这种溅射系统结合了先进的长寿命电子束枪和自动三轴运动控制单元以及内置的环境和过程控制。3280机的设计使溅射更容易控制,使用户可以精确调整压力、温度、电流和基板位置等参数。该工具配有电子束枪,具有较大的光斑尺寸和高度可调的束电流,允许重复的过程优化。光束电流可以在从0到300mA的各种值范围内精确调整,从而使资产即使是最具挑战性的材料也能溅射。为了确保一个一致的溅射涂层过程,VARIAN 3280还采用了专门的环境控制。集成的自动化大气控制模型允许实时监测氧气、氙气和氮气水平,以确保清洁、高效的过程。此外,该设备还包括一个板载温度监测系统和一个综合压力控制单元,以帮助在大型基板区域保持一致的溅射涂层温度。最后,3280提供了一个强大的三轴运动控制机,可以方便地溅射覆盖范围均匀的大基板区域。这款运动控制工具配有集成真空密封件、高分辨率编码器模块和异步电机驱动器,使其能够提供光滑均匀的薄膜沉积。综上所述,VARIAN 3280是一种功能强大、经济实惠的溅射资产,旨在将薄膜溅射到大型基板区域。该模型具有先进的电子束枪、精密的环境和过程控制,以及强大的三轴运动控制设备,以确保可靠和可重复的溅射涂层过程。3280是光学、电子、磁性材料研究应用的理想选择。
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