二手 VARIAN 3290 STQ #9154643 待售

VARIAN 3290 STQ溅射设备是提供高级工艺能力的先进沉积系统。它旨在提供可靠、可重复的性能和高品质的薄膜，以满足各种应用的最严格要求。该单元配备了坚固、多价的腔室，直观灵活的软件界面，以及各种溅射目标和基板。VARIAN 3290STQ腔室用于控制沉积过程，在提供卓越工艺控制和可靠性的同时，实现了高度的可重复性和准确性。该腔室采用钟形结构，能够很好地进入沉积区，并允许快速的底物装卸。可以选择磁控管或二极管溅射源来沉积各种金属的薄膜。此外，机器还可以使用广泛的基材尺寸和形状，包括晶圆、基材和任何其他不规则形状。3290 STQ的强健软件接口被设计成能够方便直观地控制沉积过程。工具优化的各个方面，如材料参数、功率设置以及其他与沉积过程相关的参数都可以配置为满足特定的要求。该资产还具有自动配方脚本,可简化优化过程并确保一致的结果。模型中还包括独特的自适应过程控制算法，以提供更高级别的过程控制，减少过程的可变性。该设备还具有倾斜能力，允许在监测反应过程的同时采用从低功率到高功率的阶梯式沉积方法。3290STQ系统带有各种溅射目标和基板，以满足最苛刻的要求。VARIAN可以提供标准或定制的高纯度、高密度目标选择,无论是否有终身保修。基材包括石英、陶瓷和蓝宝石晶片，以及其他需要特殊性能特性的应用基材。总体而言,VARIAN 3290 STQ提供了先进的溅射系统功能和功能,并提供可靠、可重复的性能和高质量的薄膜。其直观的界面和广泛的溅射目标和基板使用户能够在控制过程变异性的同时实现过程优化。