二手 VARIAN 3290 STQ #9188626 待售

VARIAN 3290 STQ是一种高度先进的溅射沉积设备，旨在提供一致可靠的溅射过程。其特点使其适合广泛的工业和研究应用。VARIAN 3290STQ通常用于将薄膜溅射到金属、半导体、电介质、聚合物和陶瓷等多种材料的基板上。该系统有两个主要组件：真空室和离子源.这两个组件都集成到一个单一的、紧凑的设备中。真空室由外筒、内筒、霜壁组成。要求外部气缸营造低压环境，而内部气缸和霜冻壁则确保对基板温度和溅射位置的严格控制。溅射枪是位置和可调的，允许精确的溅射覆盖基板。离子源负责产生用于溅射目标材料的高速离子。该单元具有高度可调性，允许各种不同的目标材料用于不同的应用。该源能够产生高达12 kW的功率，足以溅射各种金属和半导体。3290 STQ还配备了最先进的过程控制系统。PID控制器和SCADA系统允许对整个溅射过程进行精确控制,确保每次结果一致。此外,该机器的设计便于与其他组件集成,从而实现了适用于各种应用程序的通用设置。总体而言，3290STQ工具旨在提供可靠的溅射过程，并对整个沉积过程进行精确控制。其可调的离子源和腔室构型使其适用于广泛的应用，而其过程控制特性提供了一致的结果非常精确。