二手 VARIAN 3290 STQ #9248600 待售

VARIAN 3290 STQ是由VARIAN制造的反应性离子溅射设备。它用于工业应用，例如在一系列材料上沉积薄膜，包括半导体、玻璃、塑料和金属。该系统非常适合汽车、航空航天、医疗设备、电子产品和其他需要高质量和可靠溅射薄膜的行业。VARIAN 3290 STQ的设计最大限度地提高了溅射膜的工艺吞吐量和均匀性。该单元由两个或三个可调节的目标、一个或多个氙气平面磁控管、一个大功率直流电源以及一个用于精确参数设置和监控的控制器组成。每个目标都可以配备一个单独的磁控管，允许独立调整磁场强度和离子与中性的比率。高电源允许高达70 µm/min的溅射速率,从而确保高沉积率的优质薄膜。3290 STQ提供了多种功能来改善过程控制和可靠性。它提供了先进的电弧防护技术，消除了传统的阴极电弧。这种先进的技术允许通过检测和调整检测到弧时的参数来提高目标利用率。计算机还具有一个进程监视工具,用于在操作过程中发生任何问题时向用户发出警报。此外，该资产利用等离子体源模拟特征来测量等离子体的离子通量和能量分布。这样可以进行可靠的过程控制,并减少功耗和溅射时间。3290STQ还包括诊断、报告和设备健康信息,这有助于提高流程稳定性和准确性。总体而言,VARIAN 3290 STQ是一种可靠的溅射模型,它提供了一系列功能,可实现最大的过程吞吐量和溅射膜的均匀性。先进的防弧技术结合过程监测和等离子体源模拟，保证了溅射沉积的一致性和准确性。流程诊断和报告功能改善了设备的运行状况,并确保了可靠的流程。需要高质量、可靠的溅射膜的制造商将从VARIAN 3290STQ中获益良多。