二手 VARIAN 3290 STQ #9250098 待售

VARIAN 3290 STQ
製造商
VARIAN
模型
3290 STQ
ID: 9250098
晶圆大小: 6"
优质的: 2000
Sputtering systems, 6" Quantum target 2000 vintage.
VARIAN 3290 STQ是一种最先进的溅射设备,设计用于将材料薄膜沉积到基板上。这种溅射系统能够沉积广泛的材料,包括但不限于铝、铬、镍、钛、钨、铜和银。VARIAN 3290STQ是一种多磁控管装置,能够同时沉积多达四种材料,并且根据应用需要高度可配置。该机独特的设计,在沉积速率、薄膜厚度、层组成等方面都具有非凡的均匀性和可重复性。3290 STQ的裸露部件由坚固的超刚性不锈钢构成,提供卓越的机械稳定性和最小化振动。该室密封,除高科技溅射源外,还包括一个真正的真空泵站。这个工具还包含了一个先进的车载监视器和一个计算机界面,以实现最大程度的控制和自动化,而一个内置的用户友好型控制资产允许易于溅射运行。沉积过程开始于从精心布置在磁阵中的高能磁体中溅射所需的材料。阵列允许有效的溅射和沉积材料,同时防止它简单地扩散到腔室。然后通过泵站将物料收集到基板上,泵站将其从溅射源抽空并穿过基板。这样可以确保薄膜均匀且可重复地沉积到基板上,从而产生高质量、一致的薄膜。3290STQ非常适合用于各种行业和应用中的溅射涂层和相关的高科技工艺。例子包括半导体、光电器件、大厅传感器、薄膜涂层以及许多其他需要薄膜材料的技术。此外,VARIAN 3290 STQ具有无懈可击的精确度和精确度,为薄膜的可靠一致沉积提供了行业标准。
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