二手 VARIAN 3290 STQ #9294608 待售

VARIAN 3290 STQ是为薄膜沉积过程而设计的溅射设备。它是一个垂直系统，提供多达四个磁控管溅射电极和多达四个平面射频/直流或直流磁控管。VARIAN 3290STQ单元能够执行各种薄膜沉积过程，如离子辅助沉积（IAD）、反应性溅射和各种其他薄膜沉积技术。其更大的腔室尺寸可以支撑更大的基板。3290 STQ设计方便,具有直观和符合人体工程学的用户界面。它提供了简单、用户友好的设计,使其更易于操作,并配备了高级图形用户界面（GUI）以增强功能和操作。其真空机最大工作压力为5x10-7 Torr，泵的停机时间经过了短周期优化。还包括一个用于快速抽空腔室的综合教育器。3290STQ工具还具有较高的基板加热速率，以便快速达到所需的目标温度。它配备了一个独立的、两个区域的4kW RF/DC电源,可实现高性能薄膜沉积的精确控制和精确均匀性。此外,频率敏捷功能还为高级应用程序提供了额外的控制和灵活性。资产还具有用于处理选项的高级压力控制模型（PCS）。这种内置的PCS技术确保了准确和可重复的压力控制过程。它允许高端流程或定制可编程配方的周期可重复性,从而确保一致的可生产结果。PCS还能实现惰性或反应性气体溷合能力，对沉积参数提供额外的控制。VARIAN 3290 STQ也有远程监控设备。该系统可用于查看设备的状态、温度读数、电流消耗以及其他操作数据。内置以太网端口可确保用户能够轻松集成远程监视计算机。该工具的安全协议也是高度可配置的,可以根据每个用户或应用程序的需要进行定制。总之,VARIAN 3290STQ是一种多用途的资产,设计用于要求苛刻的薄膜沉积过程.其内置功能可实现精确控制和可重复结果,而直观的用户界面以及可编程的配方使其易于使用。它的以太网端口允许远程监视功能,而其先进的PCS技术则确保了准确性和一致的生产时间。