二手 VARIAN 3290 #148077 待售
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已售出
ID: 148077
晶圆大小: 6"
优质的: 1998
Sputtering system, 6"
(3) Quantum targets
(1) Etch
NW3000 Control system:
Components
12.1" Touch monitor
NW3000 Software with Win7
Wafer process controller
Wafer loader controller
I/O Box
Cassette motor controller:
Components
Stepping motor & Sprocket
Motor Cable
1998 vintage.
VARIAN 3290是一种最先进的溅射设备,设计用于生产高质量的材料沉积和分析。它是一个三口袋系统,允许将两种不同的材料沉积成两个单独的口袋。沉积过程由VARIAN计算机工程师创建的计算机控制程序控制,它允许将不同的材料非常精确地沉积到不同的基板上。3290能够纺制和固定多达500 mm的金属基板,非常适合研究与开发(R&D)应用。该装置具有高度精确的压力和真空控制器,能够在整个溅射过程中实现精确的溅射速率和基板均匀性。此外,它还配备了五级气体输送机,能够在高度受控的环境中实现精确可靠的气体添加。这使得沉积温度能够得到准确的监控和控制,以获得卓越的性能。三袋工具有几个功能,旨在确保材料质量和均匀性的最高水平。磁控管溅射技术的使用可以实现极其精确的材料沉积,无论是对于需要强附着力的多层层,还是对于不同基材中的精确膜厚度。此外,该资产能够利用三种不同的气体环境,从而实现更快的沉积速率、更高的准直器效率、降低的溅射功率和更高的材料纯度。高级光学检查模型的集成进一步使VARIAN 3290能够确保实现精确的材料厚度和分布。还提供可选的四幅相机设备,非常适合测量小细节和识别超薄材料层。该系统具有多区工艺控制能力,具有精细的间距精度和优异的沉积均匀性。3290设计为可靠且耐用的设备,在每一个应用程序中均提供卓越的性能。它是一种易于使用和维护的机器,因为它包括维护诊断和校准工具,如内存映射、实时监控和准确的屏幕读数。该工具还附有一个全面的用户手册,为操作员提供详细的说明。
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