二手 VARIAN 3290 #166882 待售

VARIAN 3290是一款强大的溅射设备。溅射是一种物理气相沉积（PVD）工艺，通过该工艺，物料从目标上脱落，并以受控方式输送到基板上。3290是为等离子体增强沉积而设计的，最高可容纳六种来源的材料。VARIAN 3290系统由标准的Windows™接口控制,允许轻松访问设备控件、进程参数和数据记录功能。它具有增强的用户界面和专用配方语言,允许轻松更改、监视和记录流程变量。模块化设计允许用户根据自己的需要定制自己的机器组件。3290溅射工具配备了多枪和动态控制能力，使用户能够同时控制多个目标。双枪选项是VARIAN 3290的独特功能，它使用户可以拥有两把具有独立控制参数的枪，可以用于响应式溅射。该设备配有脉冲DC™射频发生器，具有优异的离子轰击性能，提高了溅射层的附着力，提高了薄膜沉积速率。此外,DC-Bias Option允许在台阶高度较大的基板上实现均匀覆盖。3290是一款用途广泛、应用范围广泛的多功能机型。VARIAN 3290具有坚固的特性和卓越的性能,为从真空金属化到精确的薄膜沉积的各种溅射过程提供可靠、精确的控制。可用于氧化物、氮化物、金属等多种材料，也可用于金属化、涂层、半导体器件制造。其精确的控制和快速的处理时间使其非常适合工业和研究应用。